Main Frame: 프로브스테이션의 핵심 구조물로 Chuck, Platen, 현미경의 구조물을 전반적으로 안정성 있게 지지해주는 역할을 합니다. 

Main Frame 의 구조적인 안정성에 따라서 DUT를 정밀하게 Probing 할 수 있습니다.

현미경 : 작은 전자 소자나 반도체 칩의 미세한 패턴을 정밀하게 볼 수 있습니다.

X-Y-Z 축으로 미세하게 이동하며 자유롭게 샘플을 관찰 할 수 있습니다. 현미경의 배율은 최소 100배에서 1000배 이상까지 구현할 수 있으며, 10um 단위의 전극사이즈를 Probing 하는데 편의성을 제공합니다.

척스테이지(Chuck Stage)

척 스테이지(Chuck stage) : 샘플 또는 테스트 DUT가 고정이 되는 부분을 말합니다. 사용자가 측정하고자 하는 Wafer, chip을 안정적으로 고정시킬 수 있도록 하는 장치입니다.

- 고정 및 안정성 : 진공 홀을 통해 샘플을 안정적으로 고정시킵니다.

- 다양한 크기 및 형태 지원 : 4”, 6”, 8”, 12” 다양한 크기가 있고, 다양한 형태와 샘플에 따라 설계됩니다.

- 미세 조절 시스템 : 척을 원하는 방향으로 미세 조절 할 수 있습니다  (X-Y-Z-Z’)

- 진동 및 충격 흡수 : 외부 충격으로부터 진동을 흡수합니다.

- 환경 제어 시스템 : 온도, 습도, 가스, 진공 등의 환경 요소를 조절할 수 있습니다. 일부 실험은 특정 환경 조건에서 수행되어야 하므로 이러한 특수 기능이 필요할 수 있습니다.

- 교환 가능한 척 : 척의 사용 목적에 따라 여러 종류의 척을 교환하면서 사용할 수 있습니다.

미세조정기 (Micro Positioner)

포지셔너(Positioner/Manipulator) : Probing 하는 칩을 안정성 있게 잡아주는 역할을 하며 주로 위치 및 방향을 조절하는 장치를 의미합니다. 

이 장치는 매우 정밀하게 설계되었으며, 사용자가 쉽게 전극에 Probing 할 수 있도록 정밀하게 제어해 줍니다. 당사의 Positioner 는 X-Y-Z-Z’ 을 이동할 수 있으며, 

니들 Holder 부분에 tiling 기능까지 있어 다양한 방향으로 정확하게 Probing 할 수 있는 장점을 갖고 있습니다.

프로브 홀더 (Probe Holder) & 프로브 팁(Probe Tip)

프로브팁은 전기 신호를 정밀하게 측정하고 반도체 칩의 특정 지점을 테스트하는 도구로, 샘플 크기에 따라 0.1um~5um 등 다양한 크기로 제작됩니다.
우수한 전기적 특성, 내구성, Gold·BeCu·Copper 등의 재료 선택, 그리고 손쉬운 교체 가능성을 갖춘 설계가 특징입니다.